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• カセットtoカセットの全自動装置
• 4軸独立同期制御
• 精密な加圧制御方式±0.5g/cm²
• 加工精度を更に高める上定盤追従機構採用
• 特許取得: No.2535089
• オプションにて洗浄機をインライン装着可能

• Full automation system ( cassette to cassette )
• 4way synchronous control of carrier motion
• Precise pressure control ±0.5g/cm²
• High conformity mechanism of upper platen
• Japan Pat. No.2535089
• User to choose all options for cleaner

• 1カセット25枚の連続加工が可能
• 段取替にて2.5”〜3.5”迄対応可能
• 荷重を±0.01kgfで制御
• 面圧を約50〜1000kgf/cm²と広範囲に設定可能 (2.5”)
• 1枚単位の加工により仕掛品を削減

• Polishing 25 disks (1 cassette ) continuously
• Disk size : 2.5”〜3.5” ( Option )
• ±0.01kgf control load
• 50〜1000kgf/cm² polishing pressure can be set (2.5”)
• Less semi-finished goods by single disk polishing

• パーフェクトコントロール
• 研削抵抗制御
• 砥石軌跡制御
• インプロセス板厚測定
• 高加工レート
• 高品質
• オプションにてワーク自動搬送対応可能

• Perfect control
• Control synchronous locus of grind stone and disks
• Control disk thickness
• High grinding rate
• High quality
• Automated system with disk transferring system ( Option )

• 高スループット
• 高加工レート
• 高生産性

• High throughput
• High grinding rate
• High quality

• 多彩なオプション設定
• 設定オプション: スクラブユニット、薬液ユニット、超音波ユニット、乾燥ユニット
• カセットtoカセットの全自動装置
• 前工程とのインライン接続が可能

• Various option
• Option unit : Scrub unit, Chemical unit, Ultrasonic unit & Dry unit
• Full automation system ( cassette to cassette )
• Able to couple with other processes

• 検出目的に応じた光学系を選択可能
• カセットtoカセットの全自動装置
• 検査結果及び各種集計データを表示、設定可能
• 高スループット（SSI-642/640:5秒/枚）

• Selectable optimum options for purpose
• Full automation equipment (Cassette to Cassette )
• Display and setting of each totaled data of inspection result
• High throughput (SSI-642/640: 5sec./disk)

• ディスク表面欠陥・検査を支援いたします
• 量産検査装置SSIと同様の光学系で構成した事で、SSIにより選別された欠陥解析が可能
• 顕微鏡による欠陥解析が可能（Zygoオプション可能）
• 検出目的に応じた光学系選択が可能

• Helps to inspect and analyze defects on disk surface
• Same options as (Surface Inspection)SSI, analyzes defects distinguished by SSI
• Analysis by microscope and Zygo (Zygo option)
• Selectable optimum optics on analyzing purposes

• 板厚の選別精度 : 1μm／ランク
• 板厚測定方式 : レーザー変位計
• 非接触、非破壊測定方式採用
• 最高7ランク選別可能 (1ランク規定外を用意)
• カセットtoカセットの全自動装置
• ガラス対応可能

• Thickness precision of each level is 1μm/rank
• Measuring unit : Laser type instrument
• Non-contact, Non-destruction measurement
• Disks can be sorted to 7 ranks (Maximum/1 rank is prepared out of the standard)
• Full automation system ( cassette to cassette )
• Glass disk

product@systemseiko.co.jp