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Integration of the Elementary Technologies

要素技術　/　Elementary Technologies

生産技術をインテグレートした生産システムの一例　/　Integrated Production System

半導体・液晶分野への展開　/　Semiconductors and Liquid Crystal Display

会社概要　/　Outline

開発の歴史　/　R & D

ネットワーク　/　Network

　製品紹介　/　Products

INDEX

　Hard Disk関連製品　/　Hard Disk Products

精密ポリッシュ　/　Precision polisher (planetary) : 13B-10P 4way

枚葉式研磨機　/　Ultra polisher (single disk process)

枚葉式研削機　/　Super grinder (single disk process)

枚葉式チャンファー研削機　/　Chamfer grinder (single disk process)

精密洗浄機（ｽｸﾗﾌﾞ・薬液・超音波）　/　Super cleaner (Scrub/Chemical/Ultrasonic)

表面検査装置　/　Surface optical inspection : SSI-640

表面欠陥解析装置　/　Surface defect analyzer : SDA-102

高速板厚層別機　/　High speed thickness sorter

　Wafer・LCD関連製品　/　Wafer,LCD Products

ウェーハ用エッジ研磨装置　/　Wafer edge-polishing machine : Fine Surface E-200/300

３枚定盤方式ラップ・研磨機　/　Multi-Stage Lapping/Polishing machine : Twin Stage

化合物・酸化物ウェーハ用薄物両面研磨機　/　Double side polishing machine : PH1500/1800 Series

液晶カセット洗浄機　/　LCD Cassette cleaner

半導体ウェーハ用ウェットステーション　/　Wet station for wafer

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